X-射線熒光光譜儀（XRF）是一種較新型可以對多元素進行快速同時測定的儀器。在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線（即X-熒光）。波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。
波長色散型X射線熒光光譜儀（WD-XRF），是用晶體分光而后由探測器接收經過衍射的特征X射線信號。如果分光晶體和控測器作同步運動，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內各種元素所產生的特征X射線的波長及各個波長X射線的強度，可以據此進行定性和定量分析。該儀器產生于50年代，由于可以對復雜體系進行多組分同時測定，受到觀注，特別在地質部門，先后配置了這種儀器，分析速度顯著提高，起了重要作用。
隨著科學技術的進步，在60年代初發明了半導體探測器以后，對X-熒光進行能譜分析成了可能。能譜色散型X熒光光譜儀（ED-XRF），用X射線管產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線（熒光）直接進入半導體探測器，便可以據此進行定性分析和定量分析。
由于普通能量色散X熒光采用低功率X射線管，又采用濾光片扣除背景和干擾，其背景偏高，分辨率偏小，使得應用范圍受到限制，特別是在輕元素的分析受到限制。隨之X射線偏振器的誕生，產生了一款新型的能量色散X熒光光譜儀，既偏振式能量色散X熒光光譜儀ED（P）-XRF，再加上SDD探測器的使用，不僅提高了（相對使用正比計數管和Si（PIN）探測器的儀器）的分辨率，免去Si(Li)探測器使用液氮冷卻的繁瑣和危險，填補了原來普通能量色散X熒光的輕元素檢出限高，分辨率差的缺陷，又使得（相對波長色散X熒光用戶）購買和使用X熒光儀器的成本大大減低，這使得偏振式能量色散X熒光光譜儀ED（P）-XRF在分析領域的迅猛發展，越來越受到廣泛關注。
三類儀器對比：
雖然偏振式能量色散X熒光光譜儀ED（P）-XRF、波長色散型（WD-XRF）X射線熒光光譜儀與能量色散型（ED-XRF）X射線熒光光譜儀同屬于X射線熒光光譜儀，它們產生信號的方法相同，zui后得到的波譜或能譜也極為相似，但由于色散、采集數據的方式不同，三種儀器在原理、儀器結構和功能上也有所不同。
1、原理區別
X-射線熒光光譜法，是用X-射線管發出的初級線束輻照樣品，激發各化學元素發出二次譜線（X-熒光）。波長色散型熒光光譜儀（WD-XRF）是用X射線直接照射樣品發射X熒光，分光晶體將熒光光束色散后，測定各種元素的特征X-射線波長和強度，從而測定各種元素的含量；而普通能量色散型熒光光譜儀（ED-XRF）是通過濾光片得到背景相對較低的X射線，照射樣品發射X熒光，X熒光借助高分辨率敏感半導體檢測器與多道分析器將未色散的X-射線按光子能量進行色散，根據各元素特征能量的強度高低來測定各元素的量；而偏振式能量色散X熒光光譜儀ED（P）-XRF是采用偏振次級靶，得到單色的X射線照射樣品，再X熒光借助高分辨率敏感半導體檢測器與多道分析器將未色散的X-射線按光子能量進行色散，根據各元素特征能量的強度高低來測定各元素的量，這就大大提高了儀器的信噪比，提高了能譜儀分析輕元素的能力。
2、結構和功能方面的區別
波長色散型熒光光譜儀（WD-XRF），一般由光源（X-射線管）、樣品室、分光晶體和檢測系統等組成。為了準確測量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體是安裝在一個精密的測角儀上，還需要一龐大而精密并復雜的機械運動裝置。由于晶體的衍射，造成強度的損失，需要作為光源的X射線管的功率要大，一般為2～3千瓦。但X射線管的效率極低，只有1%的電功率轉化為X射線輻射功率，大部分電能均轉化為熱能產生高溫，所以X射線管需要專門的冷卻裝置（水冷或油冷），這就使得儀器結構比較復雜，硬件成本高，因此波譜儀的價格比能譜儀要高的多。
普通能量色散型X-熒光光譜儀（ED-XRF），一般由光源（X-射線管）、濾光片、樣品室和檢測系統等組成，與波長色散型X熒光光譜儀（WD-XRF）的區別在于它不用分光晶體，機構比較簡單，價位比較低，但輕元素的檢出限較高。
偏振式能量色散X熒光光譜儀ED（P）-XRF，不采用濾光片，而采用偏振次級靶，其它與普通能量色散X熒光光譜儀（ED-XRF）相似，結構也比較簡單，價位也遠低于波長色散型熒光光譜儀（WD-XRF），但在輕元素的檢出限方面接近波長色散型熒光光譜儀（WD-XRF）。
