關鍵詞:金相顯微鏡;物鏡場曲;物鏡放大倍數;示值誤差;校準規范;測量不確定度。
金相顯微鏡是廣泛用于冶金、機械加工、科技等行業的測量儀器。它可以測量金屬材料金相組織奧氏體的晶粒度級別、材料熱處理后滲碳層的厚度等。為了提高我國的材料研發制造水平,我們必須對金相顯微鏡進行校準或檢定。金相顯微鏡主要分為光學式金相顯微鏡、數碼金相顯微鏡、便攜式視頻金相顯微鏡、萬能金相顯微鏡、圖像分析儀等。(以下統稱金相顯微鏡)
1、 金相顯微鏡的溯源
由于各種金相顯微鏡的用途不同,故其類型、結構及精度亦不同,因而溯源關系和方式也不同。通過不同的技術手段和方法,我們最終可溯源到“單刻線樣板標準器組”和“0.01mm標準測微尺”標準器組。
2、 校準項目的設立
2.1、物鏡場曲
將一物鏡安裝好,將0.01mm標準測微尺放在工作臺上并壓緊;旋轉調焦旋鈕,將焦點調整在測微尺的中間,視場中心成像清晰,此時將千分表測頭與工作臺表面相接觸并對好表的零位;再次旋轉調焦旋轉,把焦點調整到測微尺的邊緣,使視場邊緣成像清晰。觀察千分表,其最大偏移量即為該物鏡的場曲誤差,其余物鏡以此類推進行校準。
物鏡場曲誤差的指標如下:10X<0.2mm、25X<0.1mm、40X<0.07mm、63X<0.065mm、100X<0.04mm
2.2、物鏡放大倍數的正確性
裝上10X標準目鏡和被檢物鏡,將0.01mm標準沒微尺放在工作臺上并壓緊。觀察時測微尺應與目鏡中的分劃板相符合,其偏移量測是放大倍數的誤差。其余物鏡以此類推進行校校準,其誤差不大于5%
2.3、目鏡分劃板的準確度
將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下,把分劃板放置在萬工顯工作臺上并調好焦距;調整工作臺,使分劃板的水平線與萬工顯縱向導軌行程平行并對好零位,按每20格測量一次,直到第100格,其誤差不大于5um
2.4、物鏡成像清晰范圍
用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣進行調焦,使成像清晰。當視場中心像最清晰時,測得視場內的成像清晰范圍的誤差不低于60%
2.5、各物鏡相對于目鏡的格值
裝上被檢儀器的10X目鏡,將0.01mm標準測微尺(推薦使用隨機0.01mm測微尺)放在工作臺上并壓緊;調整測微尺標尺軸線與儀器目鏡分劃板標尺軸線平行,并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測微尺n條刻線數,該物鏡相對于目鏡的格值為:C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推進行校準。