隨著現代工業生產和科學技術的發展，三坐標測量儀在精密測量領域中越來越廣泛的應用，它的重要地位正在逐漸的顯現，尤其是在曲面及回轉體工件測量方面三坐標測量儀有著無可比擬的優越性，它具有準確度高、效率高、置信度高、軟件功能齊全等優點。在實際測量過程中，影響三坐標測量儀正常工作的因素還是有很多的，下面我們來看看最重要的兩點。
因素一：壓力對三坐標測量儀的影響
在正常工作壓力的前提下，氣浮塊的浮起間隙約4~12μm，空氣壓力的波動會使氣浮塊的氣浮間隙變化，影響測量重復性。氣壓嚴重不足時，會使氣浮塊不能充分浮起造成與導軌摩擦，輕者影響測量機運動狀態和測量精度，重者會磨損導軌和氣浮塊,嚴重損壞測量機。Z軸采用氣動平衡的測量機在氣壓嚴重不足的情況下會造成Z軸失衡下落的情況，非常危險。所以要盡量保證測量機工作壓力的穩定。
a.要選擇合適的空壓機，最好另有儲氣罐，使空壓機工作壽命長，壓力穩定。
b.空壓機的啟動壓力一定要大于工作壓力。
c.開機時，要先打開空壓機，然后接通電源。
因素二：油和水對三坐標測量機的影響
由于空壓機對空氣壓縮的同時會把空氣中的水分子和油分子壓縮成水和油，而且空壓機本身工作時也需要有潤滑油對其機構進行潤滑，也使得有一部分潤滑油進入壓縮空氣。進入壓縮空氣的水和油會隨著壓縮空氣進入到平衡氣缸和氣浮塊。在測量機工作時水和油附著在導軌上，使導軌的直線度改變。當測量機不工作時管道中的油滴可能堵塞氣浮塊的氣孔，使氣浮塊不能正常浮起，造成氣浮塊與導軌的摩擦，損壞測量機并使氣管老化。管道中的水還會腐蝕氣浮塊和平衡氣缸。
