研磨液應該不會陌生吧，在化學機械研磨工藝中可扮演了一個很重要很重要的位置，研磨液中的研磨顆粒會機械化地摩擦晶圓的表面而且移除表面的薄膜。研磨液中的化學物質會與表面薄膜或者研磨形成產生化學反應將其薄膜溶解或者是形成化合物，zui后這個化合物會被研磨顆粒移除掉。研磨液中的添加物可以讓我們達到要求的研磨效果。

研磨液通常是指帶有研磨作用的研磨顆粒和化學添加物組成的水性化學溶液。不同的研磨制程需要不同的研磨液，因此研磨液通常會針對某一種特殊的應用而作相應的處理和配置。

研磨液的添加物可以控制PH值，可以影響到化學機械研磨工藝中的化學反應并協助達到zui近的工藝結果。

研磨液在加工中的主要作用:

1.潤滑作用，研磨液中的潤滑耐高溫耐高壓能力能減少磨粒磨屑與研磨表面的摩擦，起到潤滑的作用。

2.懸浮作用，研磨液能吸附在固定顆粒表面產生足夠高的位壘，讓顆粒分散開來達到分散懸浮的特點。

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3.去損作用，堿性和硅發生化學反應使后歩工序加工量變小，增加出片量，降低成本。

4.冷卻作用，冷卻性和潤滑性并用，相互補充可以獲得優越的使用效果。

5.清洗作用，選擇適宜表面活性劑和采用大的稀釋比水溶解，大大的提高了清洗的效果，讓研磨產物不會形成難清洗的表面吸附。

6.防銹作用，研磨液本身具備的功能。

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