儀器特點：
1. 主體顯微鏡配有多種目鏡和物鏡，視場大，成像清晰；
2. 采用數字高精密光柵尺作為計數系統基礎元件；
3. 電腦控制測量，先進的軟件數值計算系統，測量速度快，可同步打印出數據結果和圖形；
4. 顯微鏡鏡頭可左右偏擺，有利于測量螺旋零件；
5. 雙光束干涉條紋測量法，使數據處理系統性能大幅提高，數據圖像可儲存，可追溯性強；
儀器用途：
1. 可測量成型零件如樣板、樣板車刀、樣板銑刀、沖模和凸輪的形狀；
2. 可測量外螺紋（螺紋塞規、絲桿和蝸桿等）的中徑、小徑、螺距、牙型半角；
以及齒輪滾刀的導程、齒形和牙型角；
3. 測量精密電路板、精密PCB電路板、精密沖壓板、鉆模或孔板上的孔的位置度，鍵槽的對稱度等形位誤差；
4. 適用航空航天，軍工企業，電動汽車制造業、精密模具制造，精密滾珠絲桿，計量長度室、計量檢查站，高等院校、科研院所等。
規格參數：
1. 測量范圍：
X向行程：200㎜ 圓工作臺直徑：φ213㎜
Y向行程：100㎜ 平工作臺尺寸（㎜）：260×270
2. 測角目鏡角度分劃范圍：360°
3. 頂針的最大夾緊長度：700㎜螺紋輪廓目鏡角度分劃范圍：±7°
4. 頂針間能容納的最大直徑：φ100㎜圓工作臺角度分劃范圍：0°~360°
5. 高頂針架最大夾緊長度：200㎜圓分度頭角度分劃范圍：0°~360°
6. 高頂針架能容納的最大直徑：φ250㎜
7. 主顯微鏡立柱的傾斜范圍：±12干涉狹縫旋轉范圍：±90°
8. 分度值：
X、Y向分度值：0.0002㎜ 圓工作臺角度分度值：30″
測角目鏡角度分度值:1′ 圓分度頭角度分度值：1′
輪廓目鏡角度分度值：±12 主顯微鏡立柱傾斜角度分度值：30′
9. 測量準確度（被測件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內溫度20℃±1℃）：(1+L/100)μm，其中L為測量長度，單位：㎜
3.10物鏡放大率，工作距離及視場直徑：
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物鏡放大率 |
總放大率 |
工作距離（㎜） |
視場直徑（㎜） |
|
1× |
10× |
≈79 |
≈26.70 |
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3× |
30× |
≈69 |
≈6.7 |
|
5× |
50× |
≈49 |
≈4 |
11. 儀器主機外形尺寸(㎜)長×寬×高=1300×1250×800
12. 儀器主機重量：450㎏
