儀器特點
◆鑄鐵基座經過嚴格的時效處理，保證整體穩定性。
◆高牌號工作臺，經過嚴格熱處理時效，長期使用保證基準面不變形，導軌運行精度穩定。
◆采用優秀的無限遠高倍率光學系統。
◆采用LED光源照明系統，保證高亮度，長壽面。
◆采用無間隙光桿傳動工作臺，保證測量精度。
◆超高的工作距離，采用步進電機升降，方便調節，自帶DIC裝置插槽。
◆特有粗、微調焦裝置，微調最小每格0.002mm。
◆貼近用戶的靈活性，儀器的部件升級無需專業人員，用戶可自行操作完成。
應用領域
該儀器適用于LED、硅晶片、精密零件、導電粒子彩色濾光片、手機屏幕、FPD模組半導體晶片、FPC-PCB、IC封裝光盤CD、圖像傳感器、CCD、CMOS、PDA光源、薄膜等金相觀察及精確測量行業。
技術參數
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儀器型號 |
RX-200 |
RX-300 |
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X，Y，Z向測量行程（mm） |
200x100x200 |
300x200x200 |
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工作臺面（mm） |
400x300 |
450x350 |
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外形尺寸（mm） |
600x350x1040 |
700x450x1040 |
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測量精度 |
X，Y軸:（3+L/200）μm Z軸:（5+L/200）μm |
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重復精度 |
3μm |
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光柵尺分辨率 |
0.001mm |
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光學系統 |
無限遠光學系統 |
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CCD |
高分辨率500萬像素 |
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鏡頭 |
標準金相顯微鏡鏡頭（帶偏光片組，LED燈源） |
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物鏡 |
5X，10X，20X，50X |
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目鏡筒 |
鉸鏈式三目鏡筒、30°傾斜、瞳距：55～75mm |
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目鏡 |
高亮點、大視場目鏡 |
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調焦組 |
粗、微調焦裝置，微調最小每格0.002mm |
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數顯裝置 |
多功能數顯表 |
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測量軟件 |
YR-J |
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上光源 |
LED燈 |
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下光源 |
平行光路設計，無極連續可調LED冷光源 |
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備注：根據客戶需求，可特殊定制。
